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海德漢敞開式直線光柵尺選型指南
點選次數☁·↟│:439 釋出時間☁·↟│:2022-01-07

敞開式直線光柵尺

敞開式直線光柵尺設計用於對測量精度要求*的機床和系統│•·。

典型應用包括☁·↟│:

· 半導體業的測量和生產裝置

· PCB電路板組裝機

· 超高精度機床

· 高精度機床

· 測量機和比較儀✘↟•☁◕,測量顯微鏡和其它精密測量裝置

· 直驅電機

絕對式編碼器

系列

說明

LIC

LIC敞開式直線光柵尺能夠對行程達28 m和高速運動進行絕對位置測量│•·。其尺寸和安裝方式與LIDA 400相同│•·。

輸出位置值的編碼器

系列

說明

LIP 200

LIP 211和LIP 291增量式直線光柵尺輸出位置值的位置資訊│•·。正弦掃描訊號在讀數頭中被高倍頻細分且其計數功能將細分的訊號轉換成位置值│•·。與所有增量式編碼器一樣✘↟•☁◕,藉助參考點確定絕對原點│•·。

增量式編碼器

系列

說明

LIP

超高精度

LIP敞開式直線光柵尺擁有極小的測量步距✘↟•☁◕,*的精度和重複精度│•·。掃描方式為干涉掃描✘↟•☁◕,測量基準為DIADUR相位光柵│•·。

LIF

高精度

LIF敞開式直線光柵尺的測量基準是SUPRADUR工藝製造的玻璃基體光柵✘↟•☁◕,採用干涉掃描方法│•·。特點是精度高和重複精度高✘↟•☁◕,安裝特別簡單✘↟•☁◕,有限位開關和回零軌│•·。特殊型號的LIF 481 V可用於10–7 bar的真空環境中(參見其單獨產品資訊")│•·。

LIDA

高速運動和大測量長度

LIDA敞開式直線光柵尺特別適合運動速度達10 m/s的高速運動應用✘↟•☁◕,支援多種安裝方式✘↟•☁◕,安裝特別簡單│•·。根據相應應用要求✘↟•☁◕,METALLUR光柵的基體可為鋼帶✘↟•☁◕,玻璃或玻璃陶瓷│•·。也有限位開關│•·。

PP

二維座標測量

PP二維編碼器的測量基準是平面DIADUR工藝製造的相位光柵✘↟•☁◕,採用干涉掃描方法│•·。用於測量平面中位置│•·。

LIP/LIF

高真空和超高真空技術

我們的標準編碼器適用於低真空或中等真空應用│•·。高真空或超高真空應用的光柵尺需要滿足一些特殊要求│•·。採用的設計和材質必須滿足應用要求│•·。更多資訊✘↟•☁◕,參見真空中應用的直線光柵尺"產品資訊│•·。

以下敞開式直線光柵尺專用於高真空或超高真空應用環境│•·。

高真空☁·↟│:LIP 481 VLIF 481 V 
超高真空☁·↟│:LIP 481 U

LIC 4100選型指南

型號

基線誤差

基體和安裝方式

細分誤差

測量長度

精度等級

區域性

LIC 4113
LIC 4193

± 3 μm
± 5 μm

≤ ± 0.275 μm/ 10 mm

玻璃或玻璃陶瓷光柵尺✘↟•☁◕,嵌入在安裝面中

± 20 nm

240 mm 3040 mm

LIC 4115
LIC 4195

± 5 μm

≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)

鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中並預緊

± 20 nm

140 mm  28440 mm

LIC 4117
LIC 4197

± 3 μm
± 5 μm
± 15 μm

≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)

鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中並固定

± 20 nm

240 mm  6040 mm

LIC 4119
LIC 4199

± 3 μm
± 15 μm

≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)

鋼帶光柵尺貼上在安裝面上

± 20 nm

70 mm  1020 mm

LIC 4119 FS

± 3 μm
± 15 μm

≤ ± 0.750 μm/ 50 mm (typ.)

鋼帶光柵尺貼上在安裝面上

± 20 nm

70 mm  1820 mm

LIC 2100

型號

基線誤差

基體和安裝方式

細分誤差

測量長度

精度等級

區域性

LIC 2117
LIC 2197

± 15 μm

鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中並固定

± 2 μm

120 mm  3020 mm

LIC 2119
LIC 2199

± 15 μm

鋼帶光柵尺貼上在安裝面上

± 2 μm

120 mm  3020 mm

LIP 系列具有*的精度選型指南

外露式線性編碼器由 測量標準 和掃描頭組成│•·。請從列表中選擇這兩個元件│•·。.

模型

精度等級

基板和安裝

插值誤差

測量長度

唇 300

± 0.5 微米

Zerodur 玻璃陶瓷嵌入螺栓固定的殷鋼載體中

± 0.01 奈米

70 毫米至 270 毫米

產品變體

唇 200

± 1 μm
± 3 μm

帶固定夾的 Zerodur 玻璃陶瓷刻度

± 1 奈米

20 毫米至 3040 毫米

測量標準

掃描頭

LIP 6000

±1 μm (< 1020 mm) ±3 μm

Zerodur 玻璃陶瓷的刻度✘↟•☁◕,透過粘合劑或固定夾

± 4 奈米

20 毫米至 3040 毫米

測量標準

掃描頭

高精度 LIF 系列選型指南

外露式線性編碼器由測量標準和掃描頭組成│•·。請從列表中選擇這兩個元件│•·。.

刻度帶

掃描頭

 

模型

基線誤差

基板和安裝

插值誤差

測量長度

精度等級

間隔

LIF 400

± 1 μm
± 3 μm

≤ ± 0.225 微米/ 5 毫米

Zerodur 玻璃陶瓷或玻璃的刻度✘↟•☁◕,用 PRECIMET 膠膜粘合

± 12 奈米

70 毫米至 1640 毫米

LIDA 400 系列用於高移動速度和大測量長度

外露式線性編碼器由測量標準和掃描頭組成│•·。請從列表中選擇這兩個元件│•·。.

刻度帶

掃描頭

 

模型

基線誤差

基板和安裝

插值誤差

測量長度

精度等級

間隔

利達 473
利達 483

± 1 μm
± 3 μm
± 5 μm

≤ ± 0.275 微米/ 10 毫米

玻璃或玻璃陶瓷刻度✘↟•☁◕,粘合到安裝表面

± 45 奈米

240 毫米至 3040 毫米

利達 475
利達 485

± 5 微米

≤ ± 0.750 μm / 50 mm(典型值)

鋼尺帶拉入鋁擠壓件並張緊

± 45 奈米

140 毫米至 30040 毫米

利達 477
利達 487

± 3 μm
± 5 μm
± 15 μm

≤ ± 0.750 μm / 50 mm(典型值)

鋼尺帶拉入鋁擠壓件並固定

± 45 奈米

240 毫米至 6040 毫米

LIDA 479
LIDA 489

± 3 微米
± 15 微米

≤ ± 0.750 μm / 50 mm(典型值)

鋼帶✘↟•☁◕,粘合到安裝表面

± 45 奈米

高達 6000 毫米

LIDA 200 系列用於高移動速度和大測量長度

外露式線性編碼器由測量標準和掃描頭組成│•·。請從列表中選擇這兩個元件│•·。.

刻度帶

掃描頭

 

模型

基線誤差

基板和安裝

插值誤差

測量長度

精度等級

間隔

利達 277
利達 287

± 15 微米

鋼尺帶拉入鋁擠壓件並固定

± 2 微米

高達 10000 毫米

利達 279
利達 289

± 15 微米

鋼尺帶✘↟•☁◕,粘在安裝面上

± 2 微米

高達 10000 毫米

二座標測量用PP系列

模型

精度等級

基板和安裝

插值錯誤

測量長度

聚丙烯 281

± 2 微米

玻璃格板✘↟•☁◕, 
全表面貼合

± 12 奈米

測量範圍 68x68mm

LIP/LIF 系列適用於高真空和超高真空技術

型別

基線誤差

基板和安裝

插值誤差

測量長度

精度
等級

間隔


481V 唇 481U

± 0.5 微米
± 1 微米

≤ ± 0.175 微米/ 5 毫米

Zerodur 玻璃陶瓷或帶固定夾的玻璃刻度

± 7 奈米

70 毫米至 420 毫米

LIF 471V
LIF 481V

± 3 微米

≤ ± 0.225 微米/ 5 毫米

± 12 奈米

70 毫米至 1640 毫米

LIC 4113 V
LIC 4193 V

±1 µm(僅適用於 Robax 玻璃陶瓷)↟·↟₪↟、±3 µm↟·↟₪↟、±5 µm

≤ ±0.275 微米/10 毫米

玻璃陶瓷或玻璃上的 METALLUR 光柵

± 20 奈米

240 毫米至 3040 毫米

 

 

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